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產(chǎn)品[

熱式氣體質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品名稱: 熱式氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號: HA-S48 32/HMT
產(chǎn)品廠商: 恒奧德
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

熱式氣體質(zhì)量流量控制器型號；HA-S48 32/HMT 熱式氣體質(zhì)量流量控制器型號；HA-S48 32/HMT

熱式氣體質(zhì)量流量控制器 的詳細(xì)介紹

熱式氣體質(zhì)量流量控制器型號；HA-S48 32/HMT

編號	項(xiàng)目	S48 32/HMT
1	流量規(guī)格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
4	安裝方向	意
5	流量控制范圍	2%-
6	流量測量范圍	(0-100)%
7	零點(diǎn)溫漂	0.6%F.S.(15~35℃)
8	響應(yīng)時間	2s(T98,設(shè)定值的±2%F.S.)
9	作環(huán)境溫度	5~50℃
10	精度保證溫度	15~35℃
11	精度	±1.0%F.S
12	線性	±0.5%F.S
13	重復(fù)精度	±0.2%F.S
14	作壓差范圍	~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
15	耐壓	3MPa
16	漏率	1×10^-8Pa.m³/s(He)
17	管路接頭	1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18	供電電源	±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA
19	設(shè)定信號	(0-5)VDC 輸入阻抗>1MΩ
20	流量輸出信號	(0-5)VDC 負(fù)載輸出電流能力≤3mA
21	電氣接頭	D-SUB15
22	尺寸 (mm)	113（寬）×121（）×32（厚）

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熱式氣體質(zhì)量流量控制器

熱式氣體質(zhì)量流量控制器 型號；HA-S48 32/HMT 熱式氣體質(zhì)量流量控制器 型號；HA-S48 32/HMT

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