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便攜式四探針測試儀/四探針檢測儀/電阻率檢測儀 型號:HAD-TS-2
測量范圍寬、精度、穩定性好、結構緊湊、易操作的便攜式* 體積僅為：125mm(寬)*145mm()*245mm(深) HAD-TS-2/TS-2A型便攜式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而*的，用于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。 儀器采用了*新電子術行*、裝配。具有能選擇直觀、測量取數快、精度、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等點。如有需要可加配測試臺使用。 本儀器廣泛應用于太陽能單晶（多晶）生產廠家為硅材料的分選測試，半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。
術 標 ：
便攜式四探針測試儀按測量范圍可選配HAD-TS-2型或HAD-TS-2A型，區別：測量范圍不樣。
HAD-TS-2測量范圍
電阻率：0.01～1999.9Ω.cm； 方塊電阻：0.1～19999Ω/□；
HAD-TS-2A測量范圍
電阻率：0.001～199.99Ω.cm； 方塊電阻：0.01～1999.9Ω/□；
HAD-TS-2恒流源
電流量程分為100μA、1mA兩檔，各檔電流連續可調
HAD-TS-2A恒流源
電流量程分為1mA、10mA兩檔，各檔電流連續可調
數字電壓表
量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發光管數字顯示；性、量程自動顯示；
四探針探頭基本標
間距：1±0.01mm； 針間緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數
(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87行)
1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量*相對誤差
(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度
≤5%
外型尺寸
125mm(寬)*145mm()*245mm(深)
標準使用環境
溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無頻干擾； 無強光直射；