四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。 本儀器的點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另塊數(shù)字表（以分之幾的精度）適時監(jiān)測程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時可自動行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的*百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測量帶來很大方便。 2、主機(jī)術(shù)能數(shù) （1）測量范圍： 可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm 可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□ （2）恒流源： 輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào) 量程：0.001～0.01mA 0.01～0.10mA 0.10～1.0mA 1.0～10mA 10～100mA 恒流精度：各檔均低于±0.05% （3）直流數(shù)字電壓表： 測量范圍：0～199.99mV 靈敏度：10μV 基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度） 輸出電源：≥1000ΩM （4）供電電源： AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W （5）使用環(huán)境： 溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65% 無較強(qiáng)的電場干擾，無強(qiáng)光直接照射 （6）重量、體積： 主機(jī)重量：7.5kg 體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×度） 備注： 等測量時（測電阻率），精度<3% 電氣測量時（測電阻），精度在0.3%以內(nèi) 備注： 儀器包括：主機(jī)臺；測試架（包括臺面）個；四探針頭1個