用于測量毛細管或其它小孔零件的流通能力。
標 流量測量范圍:0-1,2,3,5,10,20,50,100,250SLM 流量測量范圍:±1% F.S.(100SCCM~10SLM N2) ±2% F.S.(20SLM~250SLM N2) 壓力測量范圍:0~0.4, 0~1, 0~1.6 MPa 壓力測量精度:0.25,0.4 系統單點漏率:1×10-7SCCS He 供電電源: ~220VAC±10% *耗 15 W 外形尺寸 440×260×260mm 重量 8 Kg
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