![]() | 產品名稱:熱式氣體質量流量控制器 貨 號:24472 產品型號:HA-S48 32/HMT |
熱式氣體質量流量控制器 型號;HA-S48 32/HMT
| 編號 | 項目 | S48 32/HMT |
| 1 | 流量規格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min |
| 2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 |
| 3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 |
| 4 | 安裝方向 | 意 |
| 5 | 流量控制范圍 | 2%- |
| 6 | 流量測量范圍 | (0-100)% |
| 7 | 零點溫漂 | 0.6%F.S.(15~35℃) |
| 8 | 響應時間 | 2s(T98,設定值的±2%F.S.) |
| 9 | 作環境溫度 | 5~50℃ |
| 10 | 精度保證溫度 | 15~35℃ |
| 11 | 精度 | ±1.0%F.S |
| 12 | 線性 | ±0.5%F.S |
| 13 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 14 | 作壓差范圍 | ~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa |
| 15 | 耐壓 | 3MPa |
| 16 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s(He) |
| 17 | 管路接頭 | 1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm |
| 18 | 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V,100mA;-15V, 200mA |
| 19 | 設定信號 | (0-5)VDC 輸入阻抗>1MΩ |
| 20 | 流量輸出信號 | (0-5)VDC 負載輸出電流能力≤3mA |
| 21 | 電氣接頭 | D-SUB15 |
| 22 | 尺寸 (mm) | 113(寬)×121()×32(厚) |
北京恒奧德儀器儀表有限公司
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