臭氧分析儀由低壓紫外燈，光波過濾器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示、電路件構成。
臭氧分析儀的檢測方法
化學檢測法
1.碘量法
碘量法是常用的臭氧測定方法，我和許多家均把此法作為測定氣體臭氧的標準方法，我建設發布的《臭氧發生器臭氧濃度、產量、電耗的測量》標準CJ/T30282-94中即規定使用碘量法。其原理為強氧化劑臭氧與碘化鉀水溶液反應生成游離碘，臭氧還原為氧氣。
2.比色法
比色法是根據臭氧與不同化學試劑的顯色或脫色反應程度來確定臭氧濃度的方法，按比色手段分為人色樣比色與光度計色，此法多用于檢測水溶解臭氧濃度。
內檢測瓶裝水臭氧溶解濃度有使用碘化鉀、鄰聯甲胺等比色液的，其方式是利用檢測樣品顯色液管相，確定測樣臭氧溶解度值，要求的，則利用分光光度計檢測。
3.檢測管
將臭氧氧化可變化試劑浸漬在載體上，作為反應劑封裝在標準內徑的玻璃管內做成測管，使用時將檢測管兩端切斷，把抽氣器接到檢測管出氣端吸取定量臭氧氣體，臭氧濃度與檢測管內反應劑柱變色長度成正比，通過刻度值讀取濃度值。德、日本和我都生產臭氧檢測管，濃度范圍分為(1000ppm)、中(10ppm)、低(3ppm)三種，用于檢測空氣臭氧濃度，適于現場應用，使用簡便，但精度低(為±15%)。
物理方法
物理方法分析臭氧現在在際上流行的是紫外線吸收法。它是利用臭氧對254nm波長的紫外線征吸收的性，依據比爾-郎伯定律制出的分析儀器，只要選擇合適長度的吸收池，就可以檢測0.002mg/m3~5%(vol)濃度的臭氧。其線形在4~5個數量內都很好，該法已被我作為環境空氣中測定臭氧的標準方(GB1/T1154348)。
紫外線吸收法不但可以適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶存的臭氧濃度。
紫外線吸收法的儀器在美、的、瑞士、日本都有產品。我北京分析儀器廠于1985年引了美莫尼公司的ML-8810型紫外吸收式臭氧分析器，用于環境檢測，1992年以后又陸續擴展量程到100ppm、1000ppm。北京能自控實驗術研究所在1999年開發了ZX-01系列紫外線吸收式臭氧分析器，其測量范圍從0~10ppm(用于環境檢測)、0~100ppm、0~1000ppm、0~10000ppm到0~25000ppm。