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數(shù)顯勻膠臺可與光刻機(jī)配套使用
數(shù)顯勻膠臺/勻膠臺 型號:GP/SJT-A
本機(jī)是用于半導(dǎo)體、集成電路及激光息商標(biāo)制過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上行涂布光刻(感光)膠的用設(shè)備。本機(jī)的作原理是利用速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機(jī)具有勻膠效率、使用方便等優(yōu)點,勻膠速度和勻膠時間分別可調(diào),電器電路具有較的穩(wěn)定性,結(jié)構(gòu)合理,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速、時間采用數(shù)字顯示,直觀性強(qiáng)。本機(jī)可與光刻機(jī)配套使用。
主要術(shù)參數(shù):
1、作電壓:
380V/220V
2、整機(jī)率:
1200W
3、勻膠時間控制范圍:
0.01-99.99秒;0.01-99.99分
4、轉(zhuǎn)速:
0-8000Rpm
5、裝片直徑(可根據(jù)用戶要求定制):
ф35-75mm
6、勻膠位(可根據(jù)用戶要求定制):
1-4位
7、外形尺寸:
長*寬* 850*810*1600mm
8、凈重:
120kg
本機(jī)是用于半導(dǎo)體、集成電路及激光息商標(biāo)制過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上行涂布光刻(感光)膠的用設(shè)備。本機(jī)的作原理是利用速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機(jī)具有勻膠效率、使用方便等優(yōu)點,勻膠速度和勻膠時間分別可調(diào),電器電路具有較的穩(wěn)定性,結(jié)構(gòu)合理,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速、時間采用數(shù)字顯示,直觀性強(qiáng)。本機(jī)可與光刻機(jī)配套使用。
主要術(shù)參數(shù):
1、作電壓:
380V/220V
2、整機(jī)率:
1200W
3、勻膠時間控制范圍:
0.01-99.99秒;0.01-99.99分
4、轉(zhuǎn)速:
0-8000Rpm
5、裝片直徑(可根據(jù)用戶要求定制):
ф35-75mm
6、勻膠位(可根據(jù)用戶要求定制):
1-4位
7、外形尺寸:
長*寬* 850*810*1600mm
8、凈重:
120kg
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臺式數(shù)顯勻膠臺轉(zhuǎn)速采用數(shù)字顯示,觀看醒目方便
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手持式數(shù)字斯拉計峰值保持能 背光控制能
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