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    數顯勻膠臺/勻膠臺可與光刻機配套使用

    數顯勻膠臺/勻膠臺 型號:GP/SJT-A

    本機是用于半導體、集成電路及激光息商標制過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上行涂布光刻(感光)膠的用設備。本機的作原理是利用速旋轉時產生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機具有勻膠效率、使用方便等優點,勻膠速度和勻膠時間分別可調,電器電路具有較的穩定性,結構合理,旋轉平穩,轉速、時間采用數字顯示,直觀性強。本機可與光刻機配套使用。
    主要術參數:
    1、作電壓: 380V/220V
    2、整機率: 1200W
    3、勻膠時間控制范圍: 0.01-99.99秒;0.01-99.99分

    4、轉速:

    0-8000Rpm
    5、裝片直徑(可根據用戶要求定制): ф35-75mm
    6、勻膠位(可根據用戶要求定制): 1-4位
    7、外形尺寸:

    長*寬*  850*810*1600mm

    8、凈重: 120kg


    本機是用于半導體、集成電路及激光息商標制過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上行涂布光刻(感光)膠的用設備。本機的作原理是利用速旋轉時產生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機具有勻膠效率、使用方便等優點,勻膠速度和勻膠時間分別可調,電器電路具有較的穩定性,結構合理,旋轉平穩,轉速、時間采用數字顯示,直觀性強。本機可與光刻機配套使用。
    主要術參數:
    1、作電壓: 380V/220V
    2、整機率: 1200W
    3、勻膠時間控制范圍: 0.01-99.99秒;0.01-99.99分

    4、轉速:

    0-8000Rpm
    5、裝片直徑(可根據用戶要求定制): ф35-75mm
    6、勻膠位(可根據用戶要求定制): 1-4位
    7、外形尺寸:

    長*寬*  850*810*1600mm

    8、凈重: 120kg
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